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| 超微粒SnO2薄膜器件气敏特性的研究 | |
| 引用本文： | 宁建华,朱秉升.超微粒SnO2薄膜器件气敏特性的研究[J].宇航材料工艺,1992(6):8-11. |
| 作者姓名： | 宁建华 朱秉升 |
| 作者单位： | 航空航天部第11研究所 (宁建华)，西安交通大学电子工程系(朱秉升) |
| 摘 要： | 本文介绍了作者采用半导体IC平面工艺技术,成功地研制出了超微粒SnO_2薄膜器件,并对该器件的氧气敏感特性作了研究,得到了该器件的主要特性参数。对其灵敏度特性曲线的研究表明:该器件不仅对低浓度氧气敏感,而且对高浓度氧气也敏感;并得到了超微粒SnO_2薄膜器件灵敏度特性所遵循的客观规律,即logR_s=0.72logC+0.85。 |
| 关 键 词： | 薄膜 气体传感器 超微粒氧化锌 |
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