| 基于微纳米金刚石过渡层的cBN刀具涂层制备 |
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| 引用本文： | 徐,锋,左敦稳,张旭辉,等.基于微纳米金刚石过渡层的cBN刀具涂层制备[J].南京航空航天大学学报,2013,45(1):43-48. |
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| 作者姓名： | 徐 锋 左敦稳 张旭辉 等 |
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| 作者单位： | 南京航空航天大学机电学院;南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(51005117)资助项目;江苏省高校优势学科建设工程资助项目 |
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| 摘 要： | 立方氮化硼(Cubic Boron Nitride,cBN)是仅次于金刚石的超硬材料,比金刚石具有更高的化学稳定性,可以胜任铁系金属的加工。本文在YG6硬质合金上基于微纳米金刚石过渡层开展cBN涂层的制备研究。本文在热丝化学气相沉积系统中制备微纳米金刚石过渡层(Micro/nanocrystalline diamond,M/NCD),在射频磁控溅射系统中制备cBN涂层,并对M/NCD与cBN涂层进行了成分、微观形貌与结合性能的研究。研究结果发现,在硬质合金基体上,M/NCD过渡层的结合性能明显优于NCD过渡层。磁控溅射制备cBN涂层过程中,存在适合cBN沉积的衬底偏压阈值,过高或过低的衬底偏压均不利于cBN含量的提高。
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| 关 键 词： | 立方氮化硼 刀具涂层 磁控溅射 微纳米金刚石 过渡层 |
Preparation of Cubic Boron Nitride Coating on WC-Co Substrate by Micro/Nanocrystalline Diamond Film Interlayer |
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| Xu Feng,Zuo Dunwen,Zhang Xuhui,Hu Haifeng,Zhang Cheng,Wang Min.Preparation of Cubic Boron Nitride Coating on WC-Co Substrate by Micro/Nanocrystalline Diamond Film Interlayer[J].Journal of Nanjing University of Aeronautics & Astronautics,2013,45(1):43-48. |
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| Authors: | Xu Feng Zuo Dunwen Zhang Xuhui Hu Haifeng Zhang Cheng Wang Min |
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| Institution: | 1,2(1.College of Mechanical and Electrical Engineering,Nanjing University of Aeronautics & Astronautics,Nanjing,210016,China;2.Jiangsu Key Laboratory of Precision and Micro-Manufacturing Technology, Nanjing University of Aeronautics & Astronautics,Nanjing,210016,China) |
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| Abstract: | |
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