微小尺寸夫朗荷费衍射测量中的误差研究

分析了用夫朗荷费衍射测量微小尺寸的原理误差,包括夫朗荷费近似误差和极值特征点位置探测误差。以狭缝为例,利用计算机仿真技术对该两项系统误差进行了修正。