基于CFD的CVD布气装置模拟与优化设计

采用流体力学有限元模拟方法,对化学气相沉积(CVD)设备系统内流场进行模拟分析,得到平板布气装置中孔径尺寸、孔径分布与预制体局部流场之间的关系,由此优化设计了布气装置,提高了CVD设备布气的均匀性和稳定性。