| 微流量测量方法及其技术的发展 |
| |
| 引用本文： | 胡纯,樊尚春,郑德智.微流量测量方法及其技术的发展[J].航空计测技术,2015(1):1-8. |
| |
| 作者姓名： | 胡纯 樊尚春 郑德智 |
| |
| 作者单位： | 北京航空航天大学 仪器科学与光电工程学院,北京,100191 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(61121003)；教育部创新团队资助项目( IRT1203)；教育部新世纪人才资助项目 |
| |
| 摘 要： | 归纳了近五年来基于MEMS技术的微流量传感器结构及性能参数。根据国际上热门的研究方法推断微流量测量技术可能的发展方向与研究趋势,即集成两种或两种以上的测量方法,实现优势互补,提高测量精度或扩大量程比。最后基于现有的技术基础,提出了融合科氏效应与差压效应的微流量测量方法,阐述了传感器的工作原理与理论基础,并对其可行性进行了分析与论证。
|
| 关 键 词： | 微流量传感器 MEMS 科氏效应 差压效应 数据融合 |
The Approaches and Development of the Micro Flow Measurement |
| |
| HU Chun,FAN Shangchun,ZHENG Dezhi.The Approaches and Development of the Micro Flow Measurement[J].Aviation Metrology & Measurement Technology,2015(1):1-8. |
| |
| Authors: | HU Chun FAN Shangchun ZHENG Dezhi |
| |
| Institution: | HU Chun;FAN Shangchun;ZHENG Dezhi;School of Instrumentation Science and Opto-electronics Engineering,Beihang University; |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | micro flow sensor MEMS Coriolis effect pressure loss effect data fusion |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
