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| 纳米激光偏振干涉仪 | |
| 引用本文： | 张蕴玉.纳米激光偏振干涉仪[J].宇航计测技术,1988(4). |
| 作者姓名： | 张蕴玉 |
| 作者单位： | 航天部第一计量测试研究所 |
| 摘 要： | 纳米激光偏振干涉仪采用线偏振光干涉,并用偏振面的旋转角对干涉条纹进行细分,得到干涉条纹小数,因此有很高的分辨率.在结构设计中采用了线胀系数很小的特种铟钢并采取光程对称分布措施和保温措施,提高了仪器的稳定性.在细分机构中,选用光电转换的正弦信号3V 点做为瞄准点,使仪器的瞄准精度得到提高,在微进给系统中采用多片压电陶瓷叠加使用的方法,不但能产生微小位移,提高仪器的灵敏阈,而且能满足测量范围的要求.此外,文中还采用精度分析的方法计算了仪器的不确定度. |
| 关 键 词： | 激光干涉仪 偏振光 结构设计 压电陶瓷器件 干涉条纹 |
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