ф0.5毫米盲孔的测量方法及测量装置

国内外小孔测量仪器在小于φ1mm盲孔的精密测量方面仍是空白。为解决此项“测量烦恼”,选择一点式接触瞄准;电学放大;二等标准量块作标准量;五个自由度,独立可调的两个并联工作台;又用交换法消除配对测头有效直径差后组成测量装置,其洲量极限误差±30max=0.132μm,达到国内外小盲孔测量精度先进指标。