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| 卫星AIT过程静电危害与工艺防护 | |
| 引用本文： | 黄杰,谢红军,沈斌.卫星AIT过程静电危害与工艺防护[J].质量与可靠性,2012(4):23-26. |
| 作者姓名： | 黄杰 谢红军 沈斌 |
| 作者单位： | 上海航天技术研究院 |
| 摘 要： | 对卫星AIT过程静电的产生与危害进行了分析,研究了AIT过程静电防护的工艺措施和不足,对现行机械损伤风险防护手段带来的静电危害进行了分析,提出了AIT过程静电防护的建议,为卫星AIT过程的静电防护与安全提供借鉴。 |
| 关 键 词： | 卫星AIT 静电 工艺防护 集成电路 |
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