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| 基于超精密应用的高刚度高阻尼空气静压导轨研究 | |
| 作者姓名： | 王贵林 李圣怡 粟时平 |
| 作者单位： | 国防科学技术大学, |
| 摘 要： | 介绍了一种采用多孔质节流的新型空气静压导轨,其刚度可以达到400N/μm或者更高,具有这种刚度的空气静压导轨可以取代液体静压导轨,广泛应用于超精密机床中. |
| 关 键 词： | 超精密 空气静压导轨 多孔质节流 表面节流 |
| 文章编号： | 1003-5451(2001)06-01-04 |
| 修稿时间： | 2001-05-28 |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ | |
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