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一种分体式石英振梁加速度计的研制
引用本文:毕小伟,马跃飞,杜伟,孙嵩.一种分体式石英振梁加速度计的研制[J].导航与控制,2019,18(4):77-82.
作者姓名:毕小伟  马跃飞  杜伟  孙嵩
作者单位:北京航天控制仪器研究所,北京,100039;北京航天控制仪器研究所,北京,100039;北京航天控制仪器研究所,北京,100039;北京航天控制仪器研究所,北京,100039
摘    要:加速度计作为导航制导系统的重要元件,要在严酷的条件下及系统全生命周期内保证精度、稳定性、线性度等性能指标要求,这对加速度计的研制提出了极大的挑战。介绍了一种基于振梁谐振和力频特性原理的分体式石英振梁加速度计,给出了加速度计的总体结构和简化的力学模型,并进行了受力分析,指出不能简单通过增加摆质量的厚度来提高加速度计的标度因数。阐述了用双端固定音叉结构制作石英振梁的工艺加工过程,指出铬金掩膜的制作是振梁加工的关键工序。针对振梁等效参数,电路采用具有更大增益的双门振荡器方案。最后,对加速度计进行了标定测试,标度因数为55Hz/g,量程达到±70g,4h的零偏稳定性为8.1μg。测试结果表明,双振梁推挽差分输出的设计有效改善了加速度计的零偏稳定性。

关 键 词:石英振梁加速度计  惯性仪表  分体式  双端固定音叉

Development of a Separated Structure Quartz Vibrating Beam Accelerometer
BI Xiao-wei,MA Yue-fei,DU Wei and SUN Song.Development of a Separated Structure Quartz Vibrating Beam Accelerometer[J].Navigation and Control,2019,18(4):77-82.
Authors:BI Xiao-wei  MA Yue-fei  DU Wei and SUN Song
Institution:Beijing Institute of Aerospace Control Devices, Beijing 100039,Beijing Institute of Aerospace Control Devices, Beijing 100039,Beijing Institute of Aerospace Control Devices, Beijing 100039 and Beijing Institute of Aerospace Control Devices, Beijing 100039
Abstract:
Keywords:quartz vibrating beam accelerometer  inertial instrument  separated structure  double-ended tuning fork
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