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| 恒压式气体微流量计测量不确定度评估 | |
| 作者姓名： | 冯焱 成永军 张涤新 |
| 作者单位： | 兰州物理研究所,甘肃兰州730000 |
| 摘 要： | 介绍了恒压式气体微流量计的组成和校准原理.在对电容薄膜规做了热流逸效应实验的基础上,对流量计的测量不确定度进行了评估,给出了扩展不确定度和包含因子.通过传递标准漏孔与德国PTB开展了漏率比对,验证了测量不确定度评估结果的可靠性. |
| 关 键 词： | 恒压 气体微流量计 测量不确定度 评估 |
| 文章编号： | 1002-6061(2006)03-0046-03 |
| 收稿时间： | 2005-09-27 |
| 修稿时间： | 2006-01-10 |
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