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| 化学气相沉积/渗透技术综述 | |
| 作者姓名： | 李崇俊 马伯信 金志浩 |
| 作者单位： | 中国航天工业总公司四院四十三所,西安,710025;西安交通大学,西安,710049 |
| 摘 要： | 综述了化学气相沉积技术的最新发展,包括金属有机化合物化学气相沉积,等离子辅助化学气相沉积,激光化学气相沉积;同时介绍了三种用于制备工程材料的快速致密化化学气相渗透技术,包括强迫流动热梯度化学气相渗透,化学液相沉积,感应加热热梯度快速致密化技术。 |
| 关 键 词： | 化学汽相淀积 化学气相渗透+ 碳碳复合材料 陶瓷基复合材料 |
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