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| 硅微半球陀螺结构与制造方法及其接口电路设计 | |
| 作者姓名： | 侯佳坤 王雨晨 陈 博 凤 瑞 李 崇 |
| 作者单位： | 中国海洋大学自动化与测控系;华东光电集成器件研究所 |
| 基金项目： | 中央高校基本科研业务费关键核心技术类（201962012）； 中国博士后科学基金面上项目（2020M672145） |
| 摘 要： | 针对微半球陀螺加工对称性差的问题，提出了自对准球形电极的多晶硅半球谐振器架构，实现了电极与谐振器相同曲率的一体化成型工艺，从而确保了谐振器的对称性。为使谐振器具有较大的驱动和检测电容，电极和外壳之间的间隙由牺牲层制成，电容间隙均匀且达到了1.5μm。接口控制电路采用基于FPGA的数字化设计，发挥了数字系统信噪比高和开发灵活的优势，实现了开环扫频、锁相环、自动增益控制、交流正交抑制等核心功能。实验结果表明，该陀螺的品质因数达到了42554，谐振频率为5.130kHz和5.128kHz，零偏稳定性达到了3.4°/hr。 |
| 关 键 词： | 硅微半球 球形电极 自对准 数字控制 数字仪器 微机电陀螺仪 |
Structure and Manufacturing Method of Silicon Micro Hemispherical Gyroscope and Interface Circuit Design |
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| Authors: | HOU Jiakun WANG Yuchen CHEN Bo FENG Rui LI Chong |
| Institution: | Department of Automation and Measurement, Ocean University of China;East China Institute of Photo-Electronic IC |
| Abstract: | |
| Keywords: | hemispherical resonators spherical electrodes self-alighed digital control digital instrument MEMS gyroscope |
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