| 高精度石英半球裸振子微应力制造 |
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| 引用本文： | 訾进锋,宋丽君,李绍良,苏定宁,熊安宁,赵万良,高立民,陈效真. 高精度石英半球裸振子微应力制造[J]. 飞控与探测, 2021, 0(1): 81-91 |
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| 作者姓名： | 訾进锋 宋丽君 李绍良 苏定宁 熊安宁 赵万良 高立民 陈效真 |
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| 作者单位： | 西安中科微精光子制造科技有限公司;西安建筑科技大学;上海航天控制技术研究所;中国科学院西安光学精密机械研究所;中国航天电子技术研究院 |
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| 基金项目： | 装备重大基础研究项目，陕西省自然科学基础研究计划项目（2020JM-488） |
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| 摘 要： | ![]()
半球谐振子是半球谐振陀螺的核心元件，其质量直接决定了陀螺的性能精度，以高纯石英材料制成的半球谐振子已得到业界的广泛认可，但加工难度较高。半球裸振子是半球谐振子的未完全加工态，其加工表面残余应力的大小决定了谐振Q值、频差Δf等参数，进而影响谐振性能。文章就石英半球裸振子的微应力制造技术方法和技术特点进行了分析和讨论，以及采用飞秒激光加工设备实现石英半球裸振子微应力制造，飞秒激光加工具有速度快、热变形小、非接触、微应力等优势，用于半球谐振子加工能够明显改善加工效率、成本和表面应力状态，采用飞秒激光加工为高精度石英半球裸振子的加工提供新实现途径。
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| 关 键 词： | 半球谐振陀螺；石英半球裸振子；激光加工；微应力制造；飞秒激光 |
Micro-Stress Manufacturing of High Precision Quartz Hemispherical Bare-Resonator |
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| ZI Jinfeng,SONG Lijun,LI Shaoliang,SU Dingning,XIONG Anning,ZHAO Wanliang,GAO Liming,CHEN Xiaozhen. Micro-Stress Manufacturing of High Precision Quartz Hemispherical Bare-Resonator[J]. FLIGHT CONTROL & DETECTION, 2021, 0(1): 81-91 |
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| Authors: | ZI Jinfeng SONG Lijun LI Shaoliang SU Dingning XIONG Anning ZHAO Wanliang GAO Liming CHEN Xiaozhen |
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| Abstract: | ![]()
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