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| 一种新型的三维表面轮廓测量系统 | |
| 引用本文： | 安卫.一种新型的三维表面轮廓测量系统[J].航空精密制造技术,2000(2). |
| 作者姓名： | 安卫 |
| 摘 要： | 英国Ｚｙｒｏ公司日前推出了其研制的最新型三维非接触表面轮廓测量仪－－Ｎｅｗ Ｖｉｅｗ５０００。在生产和研究领域，该仪器已被证明是一种在精确描述和量化表面结构、步高、临界尺寸方面极为有用的工具。 Ｎｅｗ Ｖｉｅｗ ５０００在横向上具有与光学显微镜相同的分辨率，在Ｚ轴向上的分辨率可达０．１ｎｍ。其扫描范围为５μｍ－５ｍｍ，利用图像缝合技术可对５０×５０ｍｍ大小的零件表面进行测量，并且所有这些测量都可在３秒钟内进行，很少或无需进行试件的准备工作。一种新型的三维表面轮廓测量系统@安卫 |
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