| 硅微三轴轮环式陀螺结构设计与仿真分析 |
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| 引用本文： | 蔡麒,赵勇,刘立,曹慧亮,石云波,赵锐.硅微三轴轮环式陀螺结构设计与仿真分析[J].导航与控制,2021,20(1):103-108. |
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| 作者姓名： | 蔡麒 赵勇 刘立 曹慧亮 石云波 赵锐 |
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| 作者单位： | 中北大学电子测试技术国防科技重点实验室,太原030051;中国兵器工业计算机应用技术研究所,北京100089;锦州七七七微电子有限责任公司,锦州121001 |
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| 摘 要： | 微机械陀螺是姿态控制平台和惯性导航系统的重要应用之一,但是目前国内的陀螺研发集成化程度不高,主要的研究集中在单一检测轴(特别是Z轴检测)微陀螺的设计上.为了实现可用于智能弹药领域的单片集成三轴陀螺,设计了一种轮环式陀螺结构,在ANSYS有限元分析软件中建立了该陀螺结构的有限元模型,并分别进行了模态分析、谐响应分析以及瞬态冲击响应分析.根据驱动模态和检测模态的频率匹配,优化了陀螺的结构尺寸,仿真结果显示工作模态的频率匹配性较好.分析了此结构在半正弦周期加速度冲击载荷作用下的冲击响应,谐振结构在5000g@5ms的瞬态冲击作用下最大应力为190.38MPa,证明该结构具有不错的抗冲击特性.
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| 关 键 词： | 三轴陀螺 微机电系统 仿真 有限元分析 |
Structure Design and Simulation Analysis of Silicon Micro Triaxial Wheel-ring Gyroscope |
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| CAI Qi,ZHAO Yong,LIU Li,CAO Hui-liang,SHI Yun-bo,ZHAO Rui.Structure Design and Simulation Analysis of Silicon Micro Triaxial Wheel-ring Gyroscope[J].Navigation and Control,2021,20(1):103-108. |
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| Authors: | CAI Qi ZHAO Yong LIU Li CAO Hui-liang SHI Yun-bo ZHAO Rui |
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