| 圆盘多环内双梁谐振陀螺的结构设计和制备方法 |
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| 引用本文： | 李志伟,张卫平,谷留涛,刘朝阳,朱甲强.圆盘多环内双梁谐振陀螺的结构设计和制备方法[J].导航与控制,2021,20(3):81-85,65. |
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| 作者姓名： | 李志伟 张卫平 谷留涛 刘朝阳 朱甲强 |
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| 作者单位： | 微米/纳米加工技术国家重点实验室,上海200240;上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系,上海200240 |
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| 摘 要： | 多环陀螺由于其对称性好、机械性能优异、能耗低、效率高等特点成为MEMS陀螺领域高性能惯性器件的代表.基于MEMS多环陀螺的发展现状,针对现有多环陀螺结构刚度较大、灵敏度较低的现状,提出了一种新型的圆盘多环内双梁孤立圆环谐振陀螺,通过内双梁的柔性降低了结构刚度,提高了谐振器的灵敏度.对多环谐振陀螺的主要结构进行了详细设计,对多环陀螺的振动模态进行了有限元分析.同时,提出了基于绝缘体上硅(Silicon on Insulator,SOI)工艺和基于阳极键合工艺的两种制备工艺,进行了工艺流程的设计.
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| 关 键 词： | 多环陀螺 微机电系统 内双梁 阳极键合 绝缘体上硅 |
Structure Design and Preparation Method of Disc Multi-ring Resonator Gyroscope with Inner Double-beams |
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| LI Zhi-wei,ZHANG Wei-ping,GU Liu-tao,LIU Zhao-yang,ZHU Jia-qiang.Structure Design and Preparation Method of Disc Multi-ring Resonator Gyroscope with Inner Double-beams[J].Navigation and Control,2021,20(3):81-85,65. |
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| Authors: | LI Zhi-wei ZHANG Wei-ping GU Liu-tao LIU Zhao-yang ZHU Jia-qiang |
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