| 基于EFPI-FBG结构的光纤复合传感器研究 |
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| 作者姓名： | 刘冬冬 王伟 王昆鹏 刘彬 |
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| 作者单位： | 1.中国人民解放军92493部队,葫芦岛 125001;
2.西安航天动力试验技术研究所,西安 710100;
3.沈阳黎明航空发动机集团有限公司,沈阳 110000;
4.哈尔滨工程大学信息与通信工程学院,哈尔滨 150001 |
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| 基金项目： | 青年科学基金项目（52001096）,中央高校基础科研业务费资助（307202|CFT0803）。 |
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| 摘 要： | 研究了一种基于非本征型Fabry-Perot干涉仪(EFPI)和光纤Bragg光栅(FBG)串联结构构成的EFPI-FBG光纤复合传感器,用于实现对压力和温度信号的同步测量。传感器选用熔融石英作为压力敏感材料,利用飞秒激光焊接技术实现传感器探头结构的封装。对传感器的工作原理进行了分析,制作并封装传感器工程样机,搭建测试系统,对传感器的性能进行了灵敏度及交叉敏感性分析。结果表明,该传感器在0.8 MPa范围内的灵敏度约为-0.729μm/MPa,在50℃~200℃范围的温度灵敏度为0.009 nm/℃,传感器压力测量最大允许误差为±4.12%FS。该EFPI-FBG复合传感器有望应用于压力—温度双参数测量需求的技术领域。
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| 关 键 词： | 光纤 压力 温度 传感器 |
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