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共焦扫描光学显微镜的工业应用
引用本文:
Diron,AJ 雷祖圣.共焦扫描光学显微镜的工业应用[J].宇航材料工艺,1991(6):51-56,61.
作者姓名:
Diron
AJ 雷祖圣
摘 要:
共焦扫描光学显微镜开拓了点探针光学扫描系统三个独特的功能:差分相衬、共焦剖面和光束感生电流(OBIC)像。本文叙述了这些功能在材料显微术、半导体失效分析、生物显微术上的应用,概述了激光扫描共焦显微镜的设计特点。
关 键 词:
激光扫描
光学显微镜
应用
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