Zernike自由曲面加工轨迹规划研究

Zernike自由曲面光学元件加工复杂，采用单点金刚石慢刀伺服车削方法可以实现自由曲面光学元件的高效、高精度制造。本文针对慢刀伺服车削Zernike自由曲面刀具等角度法和等弧长法两种车削轨迹划分方法进行研究，并选择等角度法轨迹划分进行车削工艺实验，获得了口径50mm的Zernike自由曲面光学元件，面形精度PV0.9506μm。