| 激光测振仪用于微梁和AFM探针振动测量 |
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| 引用本文： | 王佳.激光测振仪用于微梁和AFM探针振动测量[J].航空计测技术,1996,16(3):3-6. |
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| 作者姓名： | 王佳 |
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| 作者单位： | 清华大学精密仪器系!北京市，100084 |
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| 摘 要： | 激光光纤测振仪将直径小于200μm的激光光斑会聚于Si微悬臂梁和AFM探针上，分别由静电场和PZT进行激振，实现了激光微结构振动特性非接触测量，并给出了测量结果。
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| 关 键 词： | 激光测振仪 微梁 AFM探针 光纤 测振 振动特性 |
Applying Laser Fibre Optic Vibrometer to Measuring Vibration Characteristics of Microcantilever and AFM Probe |
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| Wang Jia.Applying Laser Fibre Optic Vibrometer to Measuring Vibration Characteristics of Microcantilever and AFM Probe[J].Aviation Metrology & Measurement Technology,1996,16(3):3-6. |
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| Authors: | Wang Jia |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Laser optic fibre Vibration characteristics Vibration characteristic |
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