超精密车床位置精度的计算机辅助测试系统 |
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作者姓名: | 王波 谢大纲 赵清亮 |
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作者单位: | 哈尔滨工业大学机电学院;哈尔滨工业大学机电学院;哈尔滨工业大学机电学院 |
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摘 要: | 介绍了一种超精密车床位置精度的计算机辅助测试系统,利用激光干涉仪在线检测超精密车床伺服工作台线性定位精度.该系统利用了原有的控制装置和自行研制的与激光干涉仪的接口电路,通过数控编程实时对工作台的静态和动态位置精度进行检测,并分析了系统的测量精度.
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关 键 词: | 激光干涉仪 定位精度 超精密车床 计算机辅助测试 |
修稿时间: | 1998-08-01 |
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