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两米光栅——线纹自动测量仪(二)
引用本文:牛立新,任冬梅.两米光栅——线纹自动测量仪(二)[J].航空计测技术,1997,17(6):5-7,19.
作者姓名:牛立新  任冬梅
作者单位:北京市长城计量测试技术研究所!北京市,100095,北京市长城计量测试技术研究所!北京市,100095,北京市长城计量测试技术研究所!北京市,100095,北京市长城计量测试技术研究所!北京市,100095,北京市长城计量测试技术研究所!北京市,100095
摘    要:(上接1997年第17卷第5期第5页)InstrumentforMeasuringLengthGratingsandLineStandardsupto2mAutomatically(2)NiuLixin;RenDongrnei;WangXiaowei;CaoHang;QiAihui2仪器的机械结构图2所示为仪器的机械结构。仪器由三个水平调节千斤顶支撑着,整个系统安放在一个保温军内。激光光源、显微镜照明光源和电机驱动器都安装在保温罩外。交流伺服电机通过一个谐波减速器,用同步带与滚珠丝杠相连,丝杠螺母带动工作台运动,螺母与工作台之间用气浮式拨又连接,以减小丝杠挠动对工作台的影响。近些年来,空气静压(气浮)导轨技术在计量仪…

关 键 词:计量光栅  光栅  线纹自动测量仪
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