| 基于MEMS工艺的爆炸箔芯片与高压开关研究现状 |
| |
| 引用本文： | 汪柯,唐科,陈楷,沈瑞琪,朱朋.基于MEMS工艺的爆炸箔芯片与高压开关研究现状[J].宇航材料工艺,2021,51(4):95-103. |
| |
| 作者姓名： | 汪柯 唐科 陈楷 沈瑞琪 朱朋 |
| |
| 作者单位： | 南京理工大学化学与化工学院，南京 210094,北京宇航系统工程研究所，北京 100076,北京宇航系统工程研究所，北京 100076,南京理工大学化学与化工学院，南京 210094,南京理工大学化学与化工学院，南京 210094 |
| |
| 摘 要： | 爆炸箔起爆器作为新型高安全性和高可靠性火工品,可广泛应用于武器系统的点火起爆、飞行器以及航天器的作动分离等诸多技术领域。从火工品的集成化、小型化以及低成本的发展趋势出发,介绍了南京理工大学微纳含能器件工信部重点实验室基于薄膜集成工艺、低温共烧陶瓷工艺以及印制电路板工艺开展的关于MEMS爆炸箔芯片和高压开关的研究现状。从设计、制备、发火性能、成本等方面分析和对比了各自的特点。最后介绍了爆炸箔芯片在超压起爆以及爆电耦合等新技术领域的研究进展。
|
| 关 键 词： | MEMS爆炸箔芯片 高压开关 超压起爆 爆电耦合 |
| 收稿时间： | 2021/5/19 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2021/8/3 0:00:00 |
Research Status of Exploding Foil Initiator Chip and High Voltage Switch Based on MEMS Technology |
| |
| WANG Ke,TANG Ke,CHEN Kai,SHEN Ruiqi and ZHU Peng.Research Status of Exploding Foil Initiator Chip and High Voltage Switch Based on MEMS Technology[J].Aerospace Materials & Technology,2021,51(4):95-103. |
| |
| Authors: | WANG Ke TANG Ke CHEN Kai SHEN Ruiqi and ZHU Peng |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | MEMS exploding foil initiator chip High-voltage switch Overpressure initiation Electric explosion and plasma discharge coupling |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《宇航材料工艺》浏览原始摘要信息 |
| 点击此处可从《宇航材料工艺》下载免费的PDF全文 |
|
