基于静态累积法的极小气体流量测量研究

通过静态膨胀法与固定流导法获得了(10~(-9)～10~(-14)) Pam~3/s的氦标准气体流量,并采用静态累积法对所产生的极小气体流量进行了测量,相应的氦离子流上升率在(10~(-10)～10~(-15)) A/s范围。实验结果表明:气体流量静态累积时的离子流波动随流量降低逐渐增大,降至1.69×10~(-14)Pam~3/s时,多个数据点已偏离上升率拟合线较远,此时达到测量下限。在(10~(-9)～7.66×10~(-12)) Pam~3/s范围,气体流量与对应离子流上升率有很好的线性,最大偏差为6.8%;当气体流量小于7.66×10~(-12)Pam~3/s时,标准流量与离子流上升率的对应关系呈现出明显的非线性。