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| Parylene C薄膜微波电路的应用可行性研究 | |
| 作者姓名： | 张亚楠 孙鹏 周澄 |
| 作者单位： | 西安空间无线电技术研究所,西安 710000 |
| 摘 要： |  针对三防材料在微波电路中多余物防控方面的可行性、可靠性问题,提出在产品表面用真空化学气相沉积法镀Parylene C薄膜,结果表明该膜层可有效控制直径d小于1 mm的可动多余物,提高微波产品PIND(颗粒碰撞粒子检测)测试的合格率.同时与焊接、胶粘、互联、清洗等配装工艺有良好的适配性,且满足可靠性要求.该薄膜较高的绝缘.  ..  |
| 关 键 词： | 微波产品 Parylene C薄膜 真空化学气相沉积法 多余物 可行性 |
| 收稿时间： | 2020-04-25 |
| 修稿时间： | 2020-12-20 |
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