用于精密和超精密测长的双频激光干涉仪

叙述了双频激光干涉仪在精密和超精密测长技术领域中的应用，讨论了双频激光干涉仪所涉及的关键技术，提出了在应用中需要进行的误差处理，目的是提高在精密和超精密测长应用中的测量精度。