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脉冲激光输出模式对介质薄膜损伤的影响
引用本文:曹华梁,程祖海,叶克飞,余亮英,陈佳元.脉冲激光输出模式对介质薄膜损伤的影响[J].推进技术,2007,28(5):558-560.
作者姓名:曹华梁  程祖海  叶克飞  余亮英  陈佳元
作者单位:华中科技大学,武汉光电国家实验室,湖北,武汉,430074
基金项目:国家重点基础研究发展计划(973计划)
摘    要:采用单横模(TEM01)和多模横向激励高气压(TEA)脉冲二氧化碳激光器和不同焦距的透镜对10.6μm的增透膜进行了破坏实验,对破坏样品进行了显微分析,研究了不同激光模式和不同焦距透镜对薄膜破坏的影响。实验结果表明,在短焦距透镜聚焦时,相同能量密度的单横模激光脉冲焦距前比焦距后更容易造成薄膜的损伤,破坏阈值相差5 J/cm2;使用长焦距透镜聚焦时,在单模激光脉冲和多模激光脉冲幅照下薄膜的损伤阈值基本相同,但比使用短焦距单模激光测量到的损伤阈值高。

关 键 词:激光损伤    介质薄膜  破坏阈值  激光模式
文章编号:1001-4055(2007)05-0558-03
收稿时间:2007-04-25
修稿时间:2007-06-27

Effect of pulse laser mode on damage of dielectric thin film
CAO Hua-liang,CHENG Zu-hai,YE Ke-fei,YU Liang-ying and CHEN Jia-yuan.Effect of pulse laser mode on damage of dielectric thin film[J].Journal of Propulsion Technology,2007,28(5):558-560.
Authors:CAO Hua-liang  CHENG Zu-hai  YE Ke-fei  YU Liang-ying and CHEN Jia-yuan
Institution:Wuhan National Laboratory for Optoelectronics, Huazhong Univ. of Science and Technology, Wuhan 430074, China
Abstract:
Keywords:Laser induced damage  Dielectric film  Damage threshold  Laser mode
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