工业生产型PCVD法工模具表面强化设备及其应用

介绍了一种新型的用于工业生产的ＰＣＶＤ法工模具表面强化设备。设备的有效容积为φ４８０ｍｍ×８００ｍｍ，装载量可以达到３００ｋｇ以上。其中自行设计的内热式加热系统，采用了高压脉冲等离子电源和多路蒸发系统。用该设备可以制备ＴｉＮ系薄膜和ＴｉＳｉＮ、ＴｉＡｌＮ等三元系薄膜，批量处理各类金属切削刀具和模具，并且显著提高工模具的使用寿命。还介绍了有关的工艺技术和设备技术。