| 新型微光机电系统惯性测量技术研究进展 |
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| 引用本文： | 黄勇军,李昕蔚,吴江波,闫 兴,陈鼎威,李 建,文光俊.新型微光机电系统惯性测量技术研究进展[J].导航定位于授时,2022(3):1-13. |
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| 作者姓名： | 黄勇军 李昕蔚 吴江波 闫 兴 陈鼎威 李 建 文光俊 |
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| 作者单位： | 电子科技大学信息与通信工程学院，成都 611731 |
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| 基金项目： | 装发快速支持（80917010101）；国防科技173计划技术领域基金（2021-JCJQ-JJ-0667） |
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| 摘 要： | 微惯性测量单元(MIMU)是惯性导航系统(INS)的核心组件，亦是构建微定位导航授时（μ-PNT）系统的重要组成部分。当前成熟的微惯性测量单元主要基于微机电系统（MEMS）实现，其性能逐渐难以满足新型无人驾驶车、无人飞行器以及制导弹药、航空航天器等军民用领域对高精确惯性导航的需求。近年来,各种新型微惯性测量技术相继被提出，以期望突破微惯性测量单元的性能与尺寸、质量、功耗（SWaP）之间相互制约的关键技术难题。系统总结了近年来国内外在常规MEMS惯性测量技术以及新型微光机电系统（MOEMS）惯性测量、微腔光力惯性测量、量子精密测量等几类新型惯性测量技术方面的研究进展，展望了未来新型高精度惯性测量技术的发展趋势，并提出了一种基于腔光力系统的量子增强型惯性测量技术构想。
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| 关 键 词： | 微惯性测量技术 微机电系统 微光机电系统 微腔光力系统 量子增强型传感技术 |
Research Progress on New Micro-Opto-Electro-Mechanical
System Inertial Measurement Technology |
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| HUANG Yong-jun,LI Xin-wei,WU Jiang-bo,YAN Xing,CHEN Ding-wei,LI Jian,WEN Guang-jun.Research Progress on New Micro-Opto-Electro-Mechanical
System Inertial Measurement Technology[J].Navigation Positioning & Timing,2022(3):1-13. |
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| Authors: | HUANG Yong-jun LI Xin-wei WU Jiang-bo YAN Xing CHEN Ding-wei LI Jian WEN Guang-jun |
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| Institution: | School of Information and Communication Engineering, University of Electronic
Science and Technology of China, Chengdu 611731, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MIMU MEMS MOEMS Cavity optomechanical system Quantum-enhanced sensing technology |
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