| 探针校准用ECR等离子体源特性试验研究 |
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| 引用本文： | 邓星亮, 张书锋, 贾军伟, 等. 探针校准用ECR等离子体源特性试验研究[J]. 航天器环境工程, 2020, 37(6): 602-609doi:10.12126/see.2020.06.011 |
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| 作者姓名： | 邓星亮 张书锋 贾军伟 柴昊 王斌 高婷 李鹏 崔爽 李峥 郎昊 刘展 |
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| 作者单位： | 1.北京东方计量测试研究所,北京 100086;2.北京空间机电研究所,北京 100076 |
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| 摘 要： | 为验证ECR等离子体源作为探针校准装置中标准等离子体发生器的可行性,试验研究微波管电流、气压等不同放电条件对ECR等离子体源的耦合作用,以及放电产生的等离子体特征参数的稳定性、均匀性和重复性。结果表明：在合适的放电条件下,ECR等离子体源产生的等离子体特征参数重复性较好,在300 mm×200 mm的空间范围内分布均匀且在2 h内较稳定。因此,可以在探针校准装置中使用ECR等离子体源作为标准等离子体发生器。
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| 关 键 词： | 等离子体源 特征参数 重复性 均匀性 稳定性 试验研究 |
| 收稿时间： | 2020-03-23 |
| 修稿时间： | 2020-11-20 |
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