| 新型光触针式表面粗糙度测量系统 |
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| 引用本文： | 杨春兰,浦昭邦.新型光触针式表面粗糙度测量系统[J].宇航计测技术,1999,19(5):55-59. |
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| 作者姓名： | 杨春兰 浦昭邦 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学精密仪器305# |
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| 摘 要： | 介绍一种基于光驱聚焦检测技术的光触针式表面粗糙度测量系统。测量光束聚焦在被测表面上，当表面高度变化时，音圈电机驱动聚焦物镜移动，使光点始终聚焦在被测表面上，音圈电机的移动量就反映了表面高度的变化。该系统的垂直分辨力可达０．０１μｍ，不仅适用于表面粗糙度测量，还可用于１ｍｍ范围内的相对长度测量。
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| 关 键 词： | 表面粗糙度 光触针 音圈电机 |
A new surface roughness measuring system by optical stylus |
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| Yang Chunlan,Pn Zhaobang,Ye Huiying ,Ruan Xuewen.A new surface roughness measuring system by optical stylus[J].Journal of Astronautic Metrology and Measurement,1999,19(5):55-59. |
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| Authors: | Yang Chunlan Pn Zhaobang Ye Huiying Ruan Xuewen |
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| Institution: | Yang Chunlan;Pn Zhaobang;Ye Huiying ;Ruan Xuewen |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Surface roughness Optical stylus Voice motor |
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