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精密可控微位移器实验研究
引用本文:
芮小健,张幼桢,颜景平,钟秉材.精密可控微位移器实验研究[J].航空精密制造技术,1994(1).
作者姓名:
芮小健
张幼桢
颜景平
钟秉材
作者单位:
南京航空航天大学,东南大学
摘 要:
介绍了微位移器的静、动态特性,实验结果表明:IP1型微位移器线性度可达0.12%,重复精度为0.01μm。还比较了IP1型和ELS1型微位移器的性能区别供应用选择时参考.
关 键 词:
压电陶瓷
微位移器
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