| 冷阴极气体放电电子束源系统研制 |
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| 引用本文： | 许海鹰,桑兴华,杨波,彭勇.冷阴极气体放电电子束源系统研制[J].航空制造技术,2022,65(1):98-105. |
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| 作者姓名： | 许海鹰 桑兴华 杨波 彭勇 |
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| 作者单位： | 中国航空制造技术研究院高能束流发生器实验室,北京 100024;南京理工大学材料科学与工程学院,南京 210094;中国航空制造技术研究院高能束流发生器实验室,北京 100024;南京理工大学材料科学与工程学院,南京 210094 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(51775527);国防基础科研计划(JCKY2017205A002);航空科学基金(2018ZE25005)。 |
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| 摘 要： | 基于冷阴极电子发射机理,设计制造了冷阴极气体放电电子枪及其电子光学系统;为了使其能够长期稳定工作,采用三级AC-DC拓扑电路、功率变压器原边并联与输出端整流电路串联获取高压的电路、双闭环控制及放电保护技术等,设计制造了冷阴极气体放电电子枪逆变电源;基于上述技术研制的冷阴极气体放电电子束源实现了-20kV/1500mA束流输出。试验结果表明,惰性气体作为放电气体,长时间工作易出现束流减小现象;以空气作为放电气体,输出表现为低压大电流特性;给定的He、Ar、空气的气流量小于0.03L/min,输出束流随着加速电压增大而增大;给定加速电压不变,He气流量逐渐增大,输出束流随着气流量增大而增大;第3级AC-DC电路中的IGBT全桥逆变电路的输出电压、电流波形一致较好,可以保障冷阴极气体放电电子束源长期稳定工作、大功率输出的需求。
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| 关 键 词： | 气体放电 等离子体 电子束 电子枪 逆变电源 |
Development of Gas Discharger Electron Beam Source |
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| XU Haiying,SANG Xinghua,YANG Bo,PENG Yong.Development of Gas Discharger Electron Beam Source[J].Aeronautical Manufacturing Technology,2022,65(1):98-105. |
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| Authors: | XU Haiying SANG Xinghua YANG Bo PENG Yong |
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| Institution: | (Science and Technology on Power Beam Generator Laboratory,AVIC Manufacturing Technology Institute,Beijing 100024,China;School of Materials Science and Engineering,Nanjing University of Science and Technology,Nanjing 210094,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Gas discharge Plasma Electron beam(EB) EB gun Inverter power supply |
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