| 电弧-磁控复合沉积TiSiN涂层及其切削性能研究 |
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| 引用本文： | 李士鹏,邓建新,闫光远,程宏伟.电弧-磁控复合沉积TiSiN涂层及其切削性能研究[J].航空制造技术,2013(14). |
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| 作者姓名： | 李士鹏 邓建新 闫光远 程宏伟 |
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| 作者单位： | 山东大学高效洁净机械制造教育部重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，山东大学自主创新基金，教育部博士点基金 |
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| 摘 要： | "硬涂层"是在韧性较好的基体上,如高速钢、硬质合金等涂覆一层或多层高硬度、高耐磨性的薄膜,实现里韧外硬,大大提高了刀具的寿命,扩展了使用范围.但随着切削速度的提高、绿色干切削技术的发展以及难加工材料的广泛应用,刀具所处的切削环境越来越恶劣,如剧烈的摩擦、极高的温度等,诸如TiN、ZrN等二元涂层越来越无法满足市场要求,对刀具涂层材料提出了更高的要求.因此,三元和多元涂层得到广泛研究,并取得了很大成功,如TiAlN、TiZrN、CrAlN等1-3].
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Cutting Performance of TiSiN Coating Deposited With Combined Method of Arc Ion Plating and Magnetron Sputtering |
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