|
|||||
|
|
| 聚焦离子光学系统设计及性能测试研究 | |
| 引用本文： | 侯良解旭辉周林丁杰.聚焦离子光学系统设计及性能测试研究[J].航空精密制造技术,2013(5):17-20. |
| 作者姓名： | 侯良解旭辉周林丁杰 |
| 作者单位： | 1.国防科技大学机电工程与自动化学院410073; |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(51175504) |
| 摘 要： | 研究了聚焦离子光学系统设计的基本原理和方法,并在自研的离子光学系统上通过实验验证了设计的可行性。在一块直径为100mm的微晶玻璃上进行了去除函数的性能测试实验。在屏栅电压900eV,屏栅电流25mA,5mm光阑,20mm靶距的条件下获得了3.78mm宽度(FWHM),226nm/min去除量的高斯型去除函数。 |
| 关 键 词： | 离子束加工 去除函数 离子光学 聚焦性 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |