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| 基于隧道效应的纳米级轮廓仪 | |
| 引用本文： | 李文菊,张鸿海,师汉民,陈日耀.基于隧道效应的纳米级轮廓仪[J].航空精密制造技术,1995(4). |
| 作者姓名： | 李文菊 张鸿海 师汉民 陈日耀 |
| 作者单位： | 华中理工大学机械学院 |
| 摘 要： | 介绍了一种利用量子力学中隧道效应原理工作的纳米级轮廓仪．它可对直径为１３０ｍｍ的光盘、磁盘等较大工件表面直接进行测量，扫描范围为１×１～１４０×１４０μｍ２，Ｘ，Ｙ方向扫描步长为１～８００ｎｍ可调，横向分辨率达几个纳米，纵向分辨率优于１ｎｍ．利用该装置已测得精密光栅、精磨祥块、金刚石镜面车削等表面的纳米级形貌． |
| 关 键 词： | 隧道效应，纳米级轮廓仪，扫描隧道显微镜 |
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