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| 浅谈三种电容式微加速度计的空气阻尼 | |
| 作者姓名： | 万蔡辛 李丹东 张承亮 薛旭 |
| 作者单位： | 北京航天控制仪器研究所;北京航天控制仪器研究所;北京航天控制仪器研究所;北京航天控制仪器研究所 |
| 摘 要： | 为明确梳齿电容式与"三明治"电容式微加速度计的噪声极限与相关的三类结构形式对应的微机械加工工艺影响,着重分析了三种工艺实现下的典型参数微加速度计的大气环境下空气阻尼情况,并剖析了不同的结构形式与不同的加工工艺对结构型式的约束和对精度极限的限制.为说明由尺度效应带来的微加速度计受空气阻尼影响而产生的远大于传统加速度计的机... |
| 关 键 词： | 微机电系统 微加速度计 空气阻尼 机械布朗噪声 |
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