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静电悬浮微加速度计高灵敏度电容检测通道设计
作者姓名:马高印  严小军  郭晓芳
作者单位:北京航天控制仪器研究所;北京航天控制仪器研究所;北京航天控制仪器研究所
摘    要:高灵敏度电容式位移检测是实现静电悬浮微加速度计闭环测控的关键技术之一.针对微加速度计径向悬浮检测的特点及指标要求,设计了高灵敏度、高精度电容式微位移检测通道.该通道主要由前置RC隔离网络与C/V转换、高共模抑制比差动放大器、二级运放、二阶压控电压源有源带通滤波、相敏解调(含模拟乘法器与四阶Butterworth低通滤波...

关 键 词:微加速度计  静电悬浮  电容检测  相敏解调
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