| 硅微加速度计六自由度悬浮控制系统设计 |
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| 引用本文： | 马高印,严小军,韩丰田.硅微加速度计六自由度悬浮控制系统设计[J].导航与控制,2011(4):16-21. |
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| 作者姓名： | 马高印 严小军 韩丰田 |
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| 作者单位： | 北京航天控制仪器研究所;北京航天控制仪器研究所;清华大学精密仪器与机械学系 |
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| 摘 要： | 六轴静电悬浮的硅微加速度计以其低量程、高分辨率和多轴集成等特点,在微小航天器的无拖曳控制、微重力测量等方面有着独特而重要的用途.本文针对外带梳齿式长方体检测质量的表头结构,依据带宽、量程、刚度等指标要求,经位移检测解耦变换与加力控制耦合变换后,分别设计出六轴稳定悬浮控制器.在地面大气环境下的仿真分析结果表明,阻尼最小的...
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| 关 键 词： | 微机电系统 硅微加速度计 六自由度 静电悬浮控制 |
Design of 6-Degree of Freedom Suspension Control System for a Si-substrate Micromachined Accelerometer |
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| MA Gao-yin,YAN Xiao-jun and HAN Feng-tian.Design of 6-Degree of Freedom Suspension Control System for a Si-substrate Micromachined Accelerometer[J].Navigation and Control,2011(4):16-21. |
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| Authors: | MA Gao-yin YAN Xiao-jun and HAN Feng-tian |
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| Institution: | Beijing Institute of Aerospace Control Device;Beijing Institute of Aerospace Control Device;Department of Precision Instruments and Mechanology, Tsinghua University |
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| Keywords: | MEMS micromachined accelerometer six DOFs electrostatic suspension control |
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