| 气体微流量标准装置的测控系统和实验研究 |
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| 引用本文： | 孟扬.气体微流量标准装置的测控系统和实验研究[J].中国空间科学技术,1995,15(2):48-54. |
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| 作者姓名： | 孟扬 |
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| 作者单位： | 兰州物理研究所 |
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| 摘 要： | 气体微流量标准装置的测控系统在计算机控制下，采用电容薄膜规、光栅尺、铂电阻温度计等高精度传感器测出变容室内气体的压力、体积变化、温度等参量；并在流量测量的动态过程中将变客室内气体的压力波动控制在±０．０１％之内；工作软件实现了对气体微流量标准装置的计算机自动化控制和管理。气体激流量标准装置可以标准１７．１～１．２２×１０－５ＰａＬ／ｓ范围内的气体流量，校准不确定度小于１．９３％；目前它已用于标准漏孔的标定和实用型气体流量计的校准工作中。
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| 关 键 词： | 气体，流量测量，校准装置，设计，应用 |
MEASUREMENT AND CONTROL SYSTEM AND EXPERAMENT STUDIES OF GAS FLOW STANDARD APPARATUS |
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| Meng Yang.MEASUREMENT AND CONTROL SYSTEM AND EXPERAMENT STUDIES OF GAS FLOW STANDARD APPARATUS[J].Chinese Space Science and Technology,1995,15(2):48-54. |
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| Authors: | Meng Yang |
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| Keywords: | Gas Flow rate measarement Design Application |
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