| 面向21世纪的纳米测量技术 |
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| 引用本文： | 荣烈润.面向21世纪的纳米测量技术[J].航空精密制造技术,2008,44(4). |
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| 作者姓名： | 荣烈润 |
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| 作者单位： | 上海静安区职工大学,上海,200040 |
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| 摘 要： | 介绍了纳米测量的必要性及特殊性,并介绍了几何量纳米测量的基本方法及仪器。
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| 关 键 词： | 几何量 纳米技术 纳米测量 干涉仪 |
Nanometrology Technology for 21th Century |
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| RONG Lie-run.Nanometrology Technology for 21th Century[J].Aviation Precision Manufacturing Technology,2008,44(4). |
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| Authors: | RONG Lie-run |
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| Abstract: | Geometrical parameter metrology have been into nanometer space.The necessity, peculiarity and key technology of nanometrology were discussed,and basic method and instrument using geometrical parameters for nanometrology were introduced. |
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| Keywords: | geometrical parameter nanotechnology nanometrology interferometer |
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