新型真空计校准装置研制

一般真空计校准大都采用粗、低真空的玻璃校准系统和中真空的金属校准系统。针对其操作复杂、效率低、宽量程校准不能连续、安全性差、繁琐而又耗时等问题，采用金属超高真空结构，研制出一种新型真空计校准装置。该装置以动态、静态比对法和静态膨胀法作为校准方法，用于对（10^-4～10^5）Pa范围的各种真空计校准。该装置提高了校准的效率，并且具有量程范围宽、准确度高、性能稳定、操作简便、安全可靠等特点。