| MOCVI法制备SiO2/SiO2复合材料 |
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| 引用本文： | 郑勇,张立同,陈照峰,成来飞,徐永东.MOCVI法制备SiO2/SiO2复合材料[J].航空制造技术,2007(1):92-95. |
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| 作者姓名： | 郑勇 张立同 陈照峰 成来飞 徐永东 |
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| 作者单位： | 西北工业大学超高温结构复合材料国防科技重点实验室 |
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| 摘 要： | 依据金属基化学气相渗透法(Metal Organic Chemical Vapor Infiltration,MOCVI)工艺理论基础,采用MOCVI法制备出SiO2/SiO2复合材料,并分析了载气流量、先驱体JH20温度和沉积温度对氧化硅基体渗透速率和SiO2/SiO2(石英玻璃)复合材料显微结构的影响.结果表明,优化条件为:JH20的温度为60℃,载气流量为500mL/min,氧气流量为15mL/min,沉积温度为600℃.
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| 关 键 词： | 复合材料 石英玻璃 MOCVI 制备条件 MOCVI 法制 复合材料 Processing Method 氧气流量 优化条件 结果 影响 显微结构 石英玻璃 渗透速率 硅基体 氧化 沉积温度 先驱体 载气流量 分析 工艺理论 Metal |
Processing of SiO2/SiO2 Composite by MOCVI Method |
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