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| 超精密加工技术的地位、现状和发展趋势(上) | |
| 引用本文： | 徐庆仁 ,刘淑敏.超精密加工技术的地位、现状和发展趋势(上)[J].国际航空,1994(8). |
| 作者姓名： | 徐庆仁 刘淑敏 |
| 摘 要： | 超精密加工技术是制造尺寸精度和形状精度高于0.1微米,表面粗糙度值小于Ra0.01～0.02微米的产品所需的综合性的高新工艺技术。超精密加工技术主要包括:超精密加工方法、加工设备、超精密测量技术、控制技术、环境技术和相应的材料处理技术。超精密加工技术是一种制造尖端产品的关键技术手段。超精密加工技术不仅是航空、航天、电子、仪表、核能和机械等技术发展的关键技术,其本身的发展又促进上述各项技术的发 |
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