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硅加速度计
作者姓名:Greif.  P
摘    要:在技术武器系统,稳定控制、机器人和商业用途领域,正出现一些需要低成本,小尺寸、中等精度加速度计的市场。微型机械制造技术极其适合上述的需要,德雷珀实验室已开发了系列硅-硼硅酸玻璃加速度计,以适应上述需要。其中一项用途是用于一个监控飞行炮弹运动的系统中,它需要动态量程范围为1mg ̄100kg的抗冲击的加速度计;第二个感兴趣的领域是用于小加速度值的商业仪表中。研制方案已集中在使用电容检测器和力平衡型的微

关 键 词:航空仪表  高g值  加速度计  硅加速度计
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