自动和半自动探针台的载片台水平位移测量方法研究 |
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引用本文: | 霍晔,吴爱华,王一帮,栾鹏,刘晨,梁法国,杜静.自动和半自动探针台的载片台水平位移测量方法研究[J].宇航计测技术,2023(1):30-33. |
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作者姓名: | 霍晔 吴爱华 王一帮 栾鹏 刘晨 梁法国 杜静 |
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作者单位: | 1.中国电子科技集团公司第十三研究所050051;2.解放军陆军步兵学院石家庄校区050083; |
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摘 要: | 为解决自动和半自动探针台的载片台水平方向位移发生偏差时,导致探针压点位置不准,从而使测试结果不可靠,甚至伤及芯片和探针的问题。根据实际工艺和溯源机构的标准器具特性,设计了标准尺的图形,在苏打玻璃上电镀5μm宽的金线条,制作成152.4mm×20mm的长方形标准尺,其测量范围为(0~150)mm。对标准尺进行了定标,定标不确定度为1.0μm。在测量范围内,进行了试验分析,评定了测量不确定度。结果表明:标准尺测量的水平位移偏差小于4μm,满足测试需求。
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关 键 词: | 自动 探针台 位移 标准尺 不确定度 |
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