基于双光梳的激光吸收谱真空分压力测量技术研究 |
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引用本文: | 范栋,李得天,成永军,代虎,习振华,贾文杰.基于双光梳的激光吸收谱真空分压力测量技术研究[J].宇航计测技术,2023(1):1-5. |
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作者姓名: | 范栋 李得天 成永军 代虎 习振华 贾文杰 |
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作者单位: | 1.兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室730000;2.东北大学机械工程与自动化学院110819; |
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摘 要: | 为了提高真空分压力测量的准确度和灵敏度,弥补传统测量方法的固有缺陷,真空分压力将结合理想气体定律,使用气体密度来表征。利用气体分子的红外吸收光谱,通过双光梳光谱技术测量其对特定波长光的吸收可实现对混合气体中目标气体密度的精确测量,进而反演出真空分压力。研建了基于电光双光梳的真空分压力测量系统,结合双光梳外差光谱技术与腔增强光谱技术,实现了非侵入、大动态、高速度的真空分压力测量。实验对CO2,CO,N2三元混合气体中CO2与CO的真空分压力进行了测量,其相对误差分别为2.84%和2.77%。通过不确定度分析得出,吸收线强度误差是真空分压力测量中最主要的不确定度分量。
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关 键 词: | 真空分压力 电光双光梳 吸收光谱 |
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