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| 怎样获得无谐波的光电信号——关于正弦光栏的探讨 | |
| 引用本文： | 方树元.怎样获得无谐波的光电信号——关于正弦光栏的探讨[J].航空精密制造技术,1981(2). |
| 作者姓名： | 方树元 |
| 摘 要： | 一、问题的提出光栅技术用于长度、角度的计量目前已相当广泛。由于测量精度不断提高的要求,近年来,改善光电信号的质量问题,引起很多人的关注。这是进一步实现高倍细分,提高测量精度的关键问题。与电感式(如感应同步器)、电容式传感器比较,欲得到高质量的原始信号,应用光栅技术还多一个手段,即光学空间滤波。文献介绍西德蔡司厂的“光电正 |
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