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| 超精密加工技术 | |
| 引用本文： | 吴诚.超精密加工技术[J].航天制造技术,1986(2). |
| 作者姓名： | 吴诚 |
| 摘 要： | 超精密加工技术,是以材料科学为基础制造工艺为中心的综合技术,对现代科学技术的发展起了重大的推动作用。 一、超精密加工的定义 什么是超精加工?究竟多大误差值才算超精密级?目前意见不一,且无明确的定义。国外有人将1～0.1μm定为精密加工;将0.1～0.01μm定为超精密加工(见日刊《精密机械》,1972,N02,津和秀夫的《超精密加工》一文)。日本在1975年提出“精密加工精度提案” |
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